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1:制備二氧化硅質的凝膠
四種氯化硅水解制備硅膠,或將有機硅化合物(如四甲氧基硅烷)水解生成硅膠,或通過氣相二氧化硅形成二氧化硅凝膠 。
2: 造粒過程
通過干燥兩種二氧化硅的凝膠,并成為干燥粉,在粉碎干燥粉末、分級并獲得預期的硅粉平均粒徑后。
3: 燒結工藝
造粒過程中得到的二氧化硅粉末在800℃~1450℃溫度下燒結。熱等離子體球化工藝用于將燒結過程中獲得的硅粉以預定的供給速率放入等離子焊炬中,該焊炬以預定的流速加入氬氣,并以預定的高頻輸出功率產生等離子體。氧化硅的沸點溫度被加熱融化了。
4: 清洗工藝
經過上述球化處理后,去除附著在球化硅粉表面的微粉。
5: 干燥工藝
上述清洗工序后的硅粉干燥
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